QMEMS是什么意思

QMEMS是由具有高稳定、高精度等优越特征的石英材料“QUARTZ”和“MEMS”（精微加工技术）组成的合成词。与以半导体为材料的MEMS相对应，以石英为 原料进行精微加工，提供小型化、高性能的晶体元器件被称为“QMEMS”。 QMEMS是爱普生拓优科梦（Epson Toyocom）的注册商标。